质量流量控制器的选型需要注意其应用精度。精度分为读数精度（Reading 简称 RD）、设定值精度（Set Point 简称 S.P.）和满量程精度（Full Scale 简称 F.S.）。读数精度主要表述质量流量的测量误差范围，设定值精度主要表述质量流量控制器的控制误差范围，满量程精度既可以表述质量流量计的测量误差范围，也可以表述质量流量控制器的控制误差范围。
读数精度代表读数误差，设定值精度代表设定值误差，满量程精度代表满量程误差。±1%RD精度的质量流量计，误差范围=±1%*质量流量计读数值；±1%S.P.精度的质量流量控制器，控制误差范围=±1%*质量流量控制器的设定流量值；±1%F.S.精度的质量流量计/质量流量控制器，误差范围=±1%*质量流量计/质量流量控制器的满量程。此外，需要注意，同样量程的质量流量计和质量流量控制器，设备满量程精度的实际误差比读数精度/设定值精度要大。
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